ֳ | ѿǻ
ڷγ 19 츮 ϻ ۵θ° ٲ ҵ ݵü ٸ ǹ̿ 츮 Ȱ İ ִ. å η ٲ ݵü ̾߱. ݵü 迡 Ͼ ̴, ٲ ִ Ѵ. Etching, EUV Ӽӵ ʿ . ̷ ƶ ǹ̸ ִ ȴٸ 踦 ؼ غ.
μ ϰų ִ ȸ ⸦ мϰ ϴ ϰ ִ. SK ÷ mySUNI ϰ , о . ѱŹ Ȱ ߱ Īȭп оµ ū ǰ ִ. ϻ Ȱӿ ڰҽ(˭) õϷ ̴.
ϵ ϴ.